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晶圆切割常见缺陷分析
发布时间:2022-05-04 点击数:2418

       目前国内半导体设备规模已达200亿美元,但国内半导体设备销售额不足200亿元人民币,市场自给率仅为15%。国产化率比较低,而且进步很大。例如,晶圆切割机中划片刀的性能也提出了新的挑战。

  刀刃厚度和长度对质量的影响

  厚度方面,需要根据划线槽的宽度来选择切割刀片的厚度。一般情况下,应选择标准划线槽宽度的一半,同时,切割刀痕应符合可接受的削片范围。目的是防止芯片被损坏。至于长度,所选切割刀片的刀片厚度需要符合正常范围值。如果太长,就容易导致高速旋转过程中出现东边等异常现象。

金刚石粒尺寸和集中度

  颗粒的大小将直接影响后续的切割质量和刀片的使用寿命。比如粒度较大的金刚石,在高速旋转的情况下可以快速去除更多的硅材料,但也降低了切割质量。此外,颗粒集中度对切割质量也有显著影响。目前常见的划片刀片有五种规格的集中度,一个旋转周期去除的硅材料量是一样的。但是平均起来,每个钻石颗粒的数量真的不一样。根据相关数据检测可知,高密度的金刚石颗粒可以有效的延长划片刀的寿命,同时也可以最大限度的降低面角塌陷的可能性。

  综上所述,晶圆切割过程中容易出现崩边、崩角等问题。解决方法在于选择相应的刀刃厚度和长度以及金刚石颗粒的尺寸图。


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