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     晶圆切割主要采用轮毂型电镀硬刀，切割过程中可能会出现崩边，这是最常见的问题。崩边分为正面崩边和背面崩边，原因不同。这一次我们主要分析了正面崩边的原因。

     正面崩边分为三类：

     1、早期崩边与新刀片安装有关，可能是由于刀片安装倾斜、刀片未修成真圆或金刚石未产生容削槽等原因造成的；

     2、循环崩边可能是由于刀片表面受到冲击，刀片表面有大颗粒金刚石凸起或其它外来杂质；

     3、造成其他崩边的原因有刀片偏置、进速和切割深度等问题，也有可能是由于工件有位移变形而导致的异常崩边。