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划片机刀片之晶圆划片刀
发布时间:2024-04-08 点击数:2293


 

根据晶圆工艺制程及对产品需求的不同,一片晶圆通常由几百至数万颗小芯片组成,业内大部分晶圆的Dice之间有着40μm~100μm不等的间隙,此间隙被称为切割道,而晶圆上99%的芯片都具有独立的性能模块(1%为边缘Dice,具备使用性能),为将芯片分离成单颗Dice,就需要使用切割工艺对晶圆片进行切割。

 

目前,业内主要切割工艺是划片机刀片切割,另外有极少部分晶圆采用激光切割。

 

划片机刀片一般分为软刀和硬刀两种。有时候也被称作砂轮片。软刀主要用于封装基板切割,硬刀则用于晶圆切割。

 

划片机刀片其工作原理如下图所示,在设备主轴高速运转带动下,刀片上的金刚石颗粒将工作盘上的晶圆从切割街区击碎,并在刀片容屑槽与切割冲洗水的作用下,将产品碎屑及时移除,避免造成背面硅粉渗透及附着表面造成的品质异常。

 

划片机刀片切割的方式,是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密切割。其特点是切割成本低、效率高,通常适用于100μm以上的较厚晶圆的切割,是当前主流切割方式。

 

激光切割则是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。激光切割主要作用是开槽,开完槽之后仍需要用划片机刀片切透,激光切割能对刀片切割起到补充的作用,主要应用于超薄晶圆切割。


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